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半導體行業
新聞詳情

機器視覺應用典型案例之半導體

發布時間:2024-08-07 10:19:36 瀏覽次數:914

在現代自動化生產過程中,機器視覺廣泛地用于工況監視、成品檢驗和質量控制等領域。在一些不適合于人工作業的危險工作環境或人工視覺難以滿足要求的場合,常用機器視覺來替代人工視覺;在大批量工業生產過程中,用人工視覺檢查產品質量效率低且精度不高,用機器視覺檢測方法可以大大提高生產效率和生產的自動化程度。

在現代自動化生產過程中,機器視覺廣泛地用于工況監視、成品檢驗和質量控制等領域。在一些不適合于人工作業的危險工作環境或人工視覺難以滿足要求的場合,常用機器視覺來替代人工視覺;在大批量工業生產過程中,用人工視覺檢查產品質量效率低且精度不高,用機器視覺檢測方法可以大大提高生產效率和生產的自動化程度。

下面中國機器視覺商城帶您看一下機器視覺在半導體制造中的應用:

半導體制造過程可以劃分為前、中、后三段。在這三段中,每一段制程,機器視覺都是必不可少的。在前、中段過程中,機器視覺主要應用在精密定位和檢測方面。沒有精密定位,也就不可能進行硅片生產。中段制程是半導體制程的最重要環節,與機器視覺相關的還有最小刻度測量。目前,后段制程則是機器視覺應用非常廣泛的環節,后段制程主要涉及晶圓的電器檢測、切割、封裝、檢測等過程。晶圓在切割前必須使用機器視覺系統檢測出瑕疵,并打上標記。檢測完畢切割過程中需要利用機器視覺系統進行精確快速對準定位,采用基于機器視覺技術的預對準技術具備很強的速度優勢。

基于機器視覺的解決方案,只需要半秒鐘就能定位硅片中心并對準切口。切割過程開始后也要利用機器視覺進行定位,如果定位出現問題,則可能整片晶圓會報廢。切割后的IC要保證在不互相接觸的前提下分裝到相應的容器內部,再繼續利用機器視覺系統找出非瑕疵品進入封裝過程。

在半導體制造前、中、后三段的視覺應用中,PC-Base機器視覺系統占據著很大的比重,這是因為PC-Base系統對于設備完成復雜檢測需求及進行二次開發的實施性最強。在設備設計初期如果考慮PC-Base視覺系統,其整合性也最強。另外,由于智能相機等嵌入式視覺系統本身發展的限制,其精度和速度還無法與PC-Base系統相比。因此嵌入式視覺系統在半導體行業應用中仍大多集中在后段部分。

隨著國內自動化程度的提高,整個社會對產品質量要求的提升,制造業對生產效率要求的提升以及機器視覺技術自身的成熟和發展,機器視覺也會越來越深入人心。

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