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半導體行業

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半導體行業

關于晶圓瑕疵檢測的幾個問題

Q1：晶圓表面瑕疵是怎么產生的？晶圓經過一系列制造加工工藝后，會不可避免的在其表面相應層中引入諸如：顆粒異物、劃痕、缺失等缺陷，也有本身材質存在的缺陷。顆粒是可能引入的工序有刻蝕、拋光、清洗等。冗余物缺陷主要來自于生產加工中晶圓表面的灰塵、空氣純凈度未到達標準以及加工過程中化學試劑等。 Q2晶圓表面缺陷會造成什么影響？顆粒異物在光刻時會遮擋光線，造成集成電路結構上的缺陷，污染物可能會附著在晶圓表面，造成圖案的不完整，影響芯片的電氣特...

2024-07-09 10:25:31
機器視覺在芯片生產中的應用

芯片的應用領域非常廣泛，例如新能源領域、信息通訊設備領域、交通運輸領域、電子信息設備、家電領域以及智能電網產業等。在新能源領域，芯片在將風電和太陽能電力接入電網以及減少輸電損耗方面發揮著非常重要的作用。在信息通訊設備領域，芯片是計算機、手機等設備的重要組成部分，影響著設備的性能和效率。在交通運輸領域，芯片被廣泛應用于各種交通工具中，如飛機、汽車、火車等，用于控制和監測系統的運行。機器視覺在芯片生產中的應用外觀檢測運...

2024-07-08 10:25:56
半導體知識分享——用多種方法改善，使浸潤式光刻機曝光臺邊緣缺陷，檢測后分析

介紹在摩爾定律引導下，國際半導體技術藍圖（ITRS）也在不斷更新換代。隨著集成電路產品技術需求的提升，光刻技術也不斷地提高分辨率，以制作更精細的器件尺寸。傳統的光刻技術中鏡頭和晶圓之間的介質是空氣，而浸潤式光刻技術則是把空氣換成了液體，比如水，這是利用了光通過液體后波長縮短從而提高分辨率的原理。隨著浸潤式光刻技術的發展和成熟度越來越高，目前其精度已然達到 28 nm 生產工藝節點，其各項主要性能也得到業界認可，如表 1 所...

2024-07-05 10:05:46
半導體芯片生產中經典的兩種自動對焦模式

芯片生產包含近千道工序。為了保證芯片的生產質量和穩定性，在每一道工序中，檢測是不可或缺的環節。隨著需求的不斷增加，半導體工藝技術的同步迭代升級，芯片正朝著更先進的制程、更高的集成度、更精密的特征尺寸和更復雜的設計的方向演變，同時，這使得芯片的缺陷尺寸要求越來越高，檢測工藝更具有挑戰性。如今的視覺檢測設備，要求能檢測到納米級別的缺陷并盡可能在更早的生產環節中對識別出。視覺檢測設備典型的視覺檢測設備包括用于承載晶圓的運動平臺和光學顯微鏡系統（...

2024-07-04 10:06:16
半導體行業里哪些地方會用到機器視覺？

隨著市場的快速發展，在半導體行業中，對出產質量的需求越來越嚴格，這就需要用到大量的自動化制造加工設備，這些設備科技含量高，制造難度大，設備價值量高，進而促進了機器視覺技能的不斷發展壯大，機器視覺自身也跟著半導體、電子、主動化、光學等技能快速發展而不斷發展和完善。那么機器視覺在半導體行業里有什么應用？ 1、PCB印刷電路檢測、板元件位置、焊點、線路、開孔尺寸、角度測量，電腦微通訊接口、SIM卡插槽，SMT元件放置、表面貼裝、表面檢測，SPI錫...

2024-07-02 17:32:54
PCB板缺陷檢測機器視覺識別系統

PCB板缺陷檢測機器視覺識別系統對PCB電路板全流程實時監測，PCB板缺陷檢測機器視覺識別系統監測到有缺陷的PCB板時立即抓拍存檔告警及時提醒。PCB板缺陷檢測機器視覺識別系統算法主要在工業自動化場景中自動檢測PCB板上的常見缺陷。當檢測到PCB存在缺陷，立即告警，并上報事件到管理平臺或管理人員。該算法實現缺陷的【低成本】自動檢測，提高了生產效能。隨著社會的發展和工業產業的快速發展，工業電子產業隨之快速發展。其中PCB板是我們經常用到，但是PCB...

2024-07-02 17:31:29