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半導體行業

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半導體行業

機器視覺在半導體行業的應用——字符檢測

一、半導體行業中的機器視覺應用 (1)與其他行業相比，半導體行業最大的產業特點是生產過程完全離不開機器視覺技術。可以說，沒有機器視覺技術，半導體行業就不能實現生產的正常化、量產化。 (2) 機器視覺技術在半導體行業中的應用，有以下突出特點：檢測要求高。半導體行業對視覺產品的要求，如精度、穩定性等等，遠遠高于其他行業。行業規范高度統一。整個行業在各方面的規范程度都是高度統一的，這一點遠非其他行業所能比擬。因此，對于視覺企業來說...

2024-06-29 17:17:46
為什么我們看到的晶圓不是“圓”的？

晶圓其實不是絕對“圓”的！即使拋開加工精度，晶圓也不是圓的！ “111”P-type晶圓就像上圖“111”P-type晶圓一樣，我們通常看到的晶圓，是有一個切口的。這個切口或是平切掉一塊，或是一個小小的缺口。為什么呢？有個小缺口的晶圓在硅晶圓片的制造和加工中，通常會在圓形表面上切割或研磨一個小的平面區域，這個區域被稱為flat zones（“切平區”或“研磨平面”）。切平區通常位于晶圓周邊的某個特定位置，這個位置的準確定義取決于晶圓的規格和設...

2024-06-28 18:30:57
常見的晶圓（Wafer）量測方法（二）

1.非圖案晶圓檢測系統非圖案晶圓檢測系統用于晶圓制造商的晶圓出貨檢驗、設備制造商的晶圓進貨檢驗以及使用假裸晶圓的設備狀況檢查，以監測設備的清潔度。設備制造商在裝運檢查時也由設備制造商在裝運檢查時執行設備狀態檢查，由設備制造商在設備進貨檢查時執行。為了檢查設備的清潔度，將用于清潔度監測的裸晶圓裝入設備中，然后移動設備內部的載物臺以監測顆粒的增加。下圖顯示了檢測非圖案化晶圓上缺陷的原理：由于沒有圖案，因此無需圖像比較即可直...

2024-06-28 14:31:54
顯微鏡自動聚焦技術概述

一、引言隨著工業自動化的飛速發展，機器視覺逐漸開始在生產和檢測中取代傳統的人眼。對于機器視覺系統而言，聚焦是最核心的問題，如果焦距沒有調整好，拍攝出來的圖像是模糊的，后續的工作自然無從談起。在顯微鏡下，這個問題更加嚴峻，由于物鏡的景深很小，對調節的精度也提出了新的要求。因此，如何高速準確的聚焦是機器視覺領域的重點問題，而自動聚焦技術正是解決這該問題的關鍵技術。二、原理在半導體、生物等高精密領域，經常需要用到較高倍率的顯微鏡進行檢測等工作...

2024-06-27 11:45:38
常見的晶圓（Wafer）量測方法（一）

1.晶圓缺陷粒子檢測系統顆粒和缺陷：顆粒和缺陷導致晶圓表面不規則形貌。散射入射光：通過檢測散射光來監測顆粒和缺陷。晶圓缺陷檢測系統可以通過獲取缺陷的（X，Y）坐標來檢測晶圓上的物理缺陷（顆粒）和圖案缺陷并繪制map,這些顆粒可以借助光散射現象來檢測： 1）激光束在橢圓鏡的一個焦點處垂直掃描晶圓表面，光電探測器放置在另一焦點處; 2）移動晶圓，收集散射光以檢測微小顆粒和缺陷; 3）繪制晶圓表面上的顆...

2024-06-27 11:42:06
AOI檢測在半導體制造領域的主要應用

1、AOI檢測屬于工業機器視覺產業鏈中視覺檢測的一部分在工業機器視覺下游應用領域中，AOI檢測廣泛應用于PCB印制電路板、平板顯示和半導體等電子元器件領域。是目前PCB印制電路板和集成電路生產過程中，重要的組成部分。 2、AOI檢測已進入智能化發展階段我國AOI檢測行業從20世紀80年代開始起步，迄今為止大致經歷了四個階段，從1985年的空白期到目前為止的智能化階段，從人工目檢到3DAOI檢測技術的不斷應用，隨著SMT組裝向精...

2024-06-21 10:09:48